质量流量传感器
型号MCS100

CE

该模型是MCS100从原始MEMS传感器技术创建的数以百万计的出货量的紧凑和快速响应质量流量传感器。
通过组合热MEMS传感器和压力损失低流动路径,该流动传感器可以测量空气,氮和氧*下10L /分钟流速的5ms的响应速度快,也可以检测流动方向或轻微流量变化。
*用于与氧气使用流体条件:供给压力50kPa以下,浓度为95%以下。


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