F7M型微流量液体流量计

CE

结合热MEMS传感器和高耐腐蚀石英玻璃流道,该产品可以测量50 mL/min以下的微流量,具有很高的可重复性,这是传统测量方法难以实现的。
产品开发是基于采用一种测量方法,最低限度的概念容易改变流体的状态(例如,泡沫、脉动、流体温度变化),并使产品用户友好,易于使用的回调函数测量液体(修正基于液体的导热系数)。
测量瞬时流量和积分流量,而不是以前的方法(如测量泵转速、测量重量或管理流体供应时间),有助于可靠的质量管理和基于测量值的过程异常检测。

测量值为50毫升/分钟或更低

介绍了利用MEMS传感技术进行热流测量的原理。
传统上很难测量50毫升/分钟液体的微流量,现在已经成为可能。
(测量范围:0.1〜10毫升/分钟,0.3至30毫升/分钟,0.5至50毫升/分钟)

结构紧凑,重量轻,安装方便

这种型号比以前的型号更紧凑、更轻。
通过安装支架(包括在一个套件中),可以很容易地安装在表面上(用于水平管道连接)。
也可用于垂直管道连接。
一个单独的转换器(扩增fi er)不是必需的。

安装方向

F7Mfig1

连续流路径

直流道意味着压力损失更低,清洗更容易,没有水坑的液体。

安装灵活,适用范围广

符合IP65保护等级。
外部不含金属,提高了对腐蚀性液体的抵抗能力,允许在液体喷雾的环境中使用。
可用于各种流体,只要它们不腐蚀熔融石英玻璃(流道的材料)或氟树脂(配件的材料)。
传感器不与任何流体接触。

测量流量:与其他方法的比较

F7Mfig2

测量原理

F7Mfig3

校正前后的输出特性

测量范围随流体的导热系数而变化,但输出特性可以通过修正函数进行调整。(见下面的概念图)

F7Mfig4

应用程序

F7Mfig5

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